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澳门六合彩 深圳市章阁仪器恳求喷涂安设及涂布显影开辟专利, 权臣裁汰显影工艺时代擢升半导体制造工犯警果
发布日期:2024-04-01 03:30    点击次数:141

金融界2025年1月30日音问澳门六合彩,国度学问产权局信息显现,深圳市章阁仪器有限公司恳求一项名为“喷涂安设及涂布显影开辟”的专利,公开号CN119376196A,恳求日历为2024年6月。

专利提要显现,本恳求属于半导体制造开辟时代范围,具体波及一种喷涂安设及涂布显影开辟,喷涂安设包括显影喷嘴组件和吹扫组件,显影喷嘴组件包括显影喷嘴,显影喷嘴具有进液端口和喷液端口,进液端口用于通入显影液,喷液端口用于喷出显影液,吹扫组件包括气体喷嘴,气体喷嘴成就在显影喷嘴宽度场地的一侧,气体喷嘴具有进气端口和喷气端口,进气端口用于通入吹扫气体,喷气端口用于喷出吹扫气体。由于吹扫气体可违反显影液提前扩散到显影喷嘴前列,在显影较厚的光刻胶时,可妥贴贬低显影喷嘴的挪动速率,以责罚底部的光刻胶显影不充分导致的显影不及与不皆备显影问题,而无谓加多显影喷涂次数,因此可权臣裁汰显影工艺时代,擢升半导体制造的工犯警果。

天眼查良友显现,深圳市章阁仪器有限公司,建造于2022年,位于深圳市,是一家以从事仪器姿色制造业为主的企业。企业注册本钱50000万东说念主民币。通过天眼查大数据分析,深圳市章阁仪器有限公司参与招投标款式26次,专利信息2条,此外企业还领有行政许可128个。

本文源自:金融界